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使用脉冲式排气，仪器进气卡套接头用扳手松开，手指堵住出气口，然后打开气瓶开关，调整压力到0.4-0.6MPa，关闭分压阀，松开手指，待气体排干净以后，再次堵住，重复开气放气过程，管路3米长，重复5次，管路每延长一米，额外增加2次重复过程，排气完成后分压调至初始要求压力，拧紧卡套接头，纯化气路3次以后再进行实验。
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